Suministro, instalación y puesta en funcionamiento de un equipo Electron Beam Lithography tool up to 8-inch wafers (UPV04) y un equipo SEM (UPV13) para la Pilot Line de la UPV

Suministro, instalación y puesta en funcionamiento de un equipo Electron Beam Lithography tool up to 8-inch wafers (UPV04) y un equipo SEM (UPV13) para la Pilot Line de la UPV

• MÓDULO DE ROTACIÓN E INCLINACIÓN (TILT) PARA INSPECCIÓN
  4%
• DETECCIÓN AUTOMÁTICA DE ALTURA Y CORRECCIÓN DEL PLANO FOCAL
  4%
• GENERADOR DE ESCANEO CON CORRECCIÓN DE DISTORSIÓN EN TIEMPO REAL
  6%
• ESTACIÓN AVANZADA DE PRE-ALINEAMIENTO (PRE-ALIGNMENT STATION)
  10%
• OFERTA ECONÓMICA: PRECIO
  66%
• ESTACIÓN DE VALIDACIÓN DE RECETAS DE PROCESO (EMULADOR)
  10%

• Capacidad de obrar
• Consideraciones de tipo medioambiental

  Ver apartado X del cuadro de características

• Volumen anual de negocios

  Volumen anual de negocios referido al mejor ejercicio dentro de los tres últimos disponibles, por importe igual o superior a 6.364.176 €.

• Relación de principales suministros (OSR)

  Relación de los principales suministros realizados de igual o similar naturaleza que los que constituyen el objeto del contrato en el curso de los tres últimos años, por un importe mínimo de 6.364.176 €. Se indicará el importe, la fecha y el destinatario, público o privado de los mismos.